晶圓探針台
GPS1200晶圓測摸索針台是晶圓探針檢測的公用設備。它可以知足12英寸、8英寸晶圓的測試需求,經過高精度定位平台、高剛性晶圓承載台和高分辯率俯視相機(探針相機)及仰望相機(晶圓相機),完成全主動高低晶圓料片、對針和高精度紮針,與測試機合營完成對晶圓上集成電路的品德檢測。
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