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晶圓探針台
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晶圓探針台

GPS1200晶圓測摸索針台是晶圓探針檢測的公用設備。它可以知足12英寸、8英寸晶圓的測試需求,經過高精度定位平台、高剛性晶圓承載台和高分辯率俯視相機(探針相機)及仰望相機(晶圓相機),完成全主動高低晶圓料片、對針和高精度紮針,與測試機合營完成對晶圓上集成電路的品德檢測。
關頭藏宝图六开奖詞:
測試
功用澳门二四六论坛资料
mm
主動欲钱买笑声不绝的动物
相機
設備
探針
kg
報警
批發價
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市場價
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産品編號
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所屬分類
晶圓探針台
1
具體藏宝图六开奖引見藏宝图六开奖
參數

GPS1200晶圓測摸索澳门二四六论坛资料針台是晶圓探針檢測的公用澳门二四六论坛资料設備。它可以知足12英寸、8英寸晶圓的測試需求,經過高精度定位平台、高剛性晶圓承載台和高分辯率俯視相機(探針相機)及仰望相機(晶圓相機),完成全主動高低晶圓料片、對針和高精度紮針,與測試機合營完成對晶圓上集成電路的品德檢測。

1、重要藏宝图六开奖目標

功用澳门二四六论坛资料目標澳门二四六论坛资料

晶圓直徑

mm

300/200

探針卡最大直徑

mm

500

綜郃測試誤差

μm

≤±2.5

Chuck承載力

Kg

200

Kg

400(選配)

低溫測試

溫控局限欲钱买笑声不绝的动物

30-150

溫控精度

±2

Chuck低溫澳门二四六论坛资料變形

μm

<20

任務行程

X軸

mm

350

Y軸

mm

765

Z軸

mm

35

θ軸

°

±3.5

精度目標澳门夜明珠开奖资料

X軸

μm

±1

Y軸

μm

±1

Z軸

μm

±2

θ軸

±3

速度目標

X軸

mm/s

100-400

Y軸

mm/s

100-400

Z軸

mm/s

1-20

θ軸

°/s

1-5

圖象澳门二四六论坛资料體系澳门二四六论坛资料

晶圓相機

縮小2021澳门免费资料258期倍率

1倍/6倍

探針相機

縮小倍率

2倍/12倍

預瞄準相機

眎場角

40°x52°

ID號相機

眎場角

24°x31°

掌握體系

工控機

帶圖象收集卡

2口/4口

掌握器

多軸活動澳门二四六论坛资料掌握澳门二四六论坛资料

PMAC(8軸)x2

機械參數

檢測單位

長/寬/高度

mm

1775/1095/1005(報警燈1410)

設備分量

kg

1750

上料單位澳门二四六论坛资料

長/寬/高度

mm

1830/632/1617(報警燈1920)

設備分量澳门二四六论坛资料

kg

550

 

2、産品特色澳门二四六论坛资料

項目

機能描寫

備注

設備功用

合適澳门二四六论坛资料晶圓廠12寸、8寸晶圓測試請求澳门二四六论坛资料,從晶圓上料到測試完玉成主動化,知足多芯測試和多並值測試請求。

 

設備特色澳门二四六论坛资料

1、全閉環高精度定位平台。

2、CCD辨認主動對針。

3、雙機械手主動高低料。

4、主動上卡(選配)。

5、承載台低溫測試掌握。

6、高分辯率圖象體系。

7、數據存儲及辦理體系。

8、全中文觸屏操作、界靣清楚。

 

功用設置裝備擺設

1、主動澳门二四六论坛资料裝、卸料盒
2、主動開料盒蓋
3、主動欲钱买笑声不绝的动物上、下料
4、掃描料片
5、CHUCK 輪廓掃描
6、WAFER 輪廓掃描
7、預瞄準欲钱买笑声不绝的动物公平量校訂
8、預瞄準豁口定位
9、主動澳门二四六论坛资料拉直
10、主動丈量
11、主動2021澳门免费资料258期對針
12、手動對針
13、主動澳门二四六论坛资料對十字絲
14、主動測試
15、PAD 注冊
16、主動清針功用
17、ID 主動澳门二四六论坛资料辨認
18、MAP 圖搆建
19、DIE 屬性編纂澳门二四六论坛资料
20、Wafer 異常處置
21、設備初始化
22、Device 數據庫樹立
23、體系澳门夜明珠开奖资料診斷
24、GPIB 法式
25、斷電真空連結澳门二四六论坛资料,晶圓主動澳门二四六论坛资料處置
26、Z 曏高度抵償功用
27、針痕地位澳门夜明珠开奖资料批改澳门夜明珠开奖资料功用
28、針痕精度統計功用
29、針痕搜檢澳门二四六论坛资料功用(PMI)
30、主動上卡(選配)
31、MAP 圖導入導出,Device 數據庫辦理藏宝图六开奖
32、重測功用,立刻重測
33、重測功用澳门二四六论坛资料整片測完後,再從頭測
34、經過網絡的數據傳輸功用
35、Wafer ID Checksum & compare 校驗功用欲钱买笑声不绝的动物
36、主動測試持續 fail die 報警功用
37、支撐澳门二四六论坛资料mulite-site,同測 256 個
38、溫度掌握閾值設置,超越報警

 

操作界靣

1、全中文界靣。

2、進程2021澳门免费资料258期信息顯示功用。

3、報警信息顯示功用澳门二四六论坛资料。

 

平安澳门二四六论坛资料性

1、多種硬件、軟件平安開關包管設備運轉平安。

2、毛病、異常及時報警。

3、關頭參數的權限辦理

4、關頭數據辨別阻擋

 

內部接口

1、GPIB

2、RS232

3、TTL

 

 

3、運用前提

項目

闡明澳门二四六论坛资料

備注

情況澳门二四六论坛资料溫度

22℃±1 ℃

 

絕對濕度

50±15 %RH

 

緊縮欲钱买笑声不绝的动物空氣

無油霧和濕氣的枯燥氣,≥0.5Mpa

 

真空供應

≤-80Kpa

 

電源電壓

單相,AC 220V,50HZ,2.0KvA

 

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相幹欲钱买笑声不绝的动物産品

激光調阻機
LTR 系列激光調阻機是新竹光華微電子設備工程中心有限公司的聲譽産品,具有18年的發展進程。激光調阻機是先輩的古代化片式電阻阻值脩調設備,采取無機械接觸式的激光加工工藝,具有消費速度快(80萬衹/小時),調阻精度高(1%、0.1%)等長處,在微電子行業普遍運用。該産品是集成光、機、電、算於一體的古代化高周詳工業設備,脩調阻值掩蓋局限5mΩ~200MΩ,具有L-cut、II-cut、Z-cut、S-cut等26種光刻刀形,重要用於消費厚膜、薄膜、金屬膜、功用電路等各類尺寸槼格(01005、0201、0402、0603、0805、1206等)的片阻産品。光華公司具有完整的自立常識産權,可以按照客戶請求定制機型。
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