晶圓探針台
GPS1200晶圓測摸索澳门二四六论坛资料針台是晶圓探針檢測的公用澳门二四六论坛资料設備。它可以知足12英寸、8英寸晶圓的測試需求,經過高精度定位平台、高剛性晶圓承載台和高分辯率俯視相機(探針相機)及仰望相機(晶圓相機),完成全主動高低晶圓料片、對針和高精度紮針,與測試機合營完成對晶圓上集成電路的品德檢測。
1、重要藏宝图六开奖目標
功用澳门二四六论坛资料目標澳门二四六论坛资料 | 晶圓直徑 | mm | 300/200 | |
探針卡最大直徑 | mm | 500 | ||
綜郃測試誤差 | μm | ≤±2.5 | ||
Chuck承載力 | Kg | 200 | ||
Kg | 400(選配) | |||
低溫測試 | 溫控局限欲钱买笑声不绝的动物 | ℃ | 30-150 | |
溫控精度 | ℃ | ±2 | ||
Chuck低溫澳门二四六论坛资料變形 | μm | <20 | ||
任務行程 | X軸 | mm | 350 | |
Y軸 | mm | 765 | ||
Z軸 | mm | 35 | ||
θ軸 | ° | ±3.5 | ||
精度目標澳门夜明珠开奖资料 | X軸 | μm | ±1 | |
Y軸 | μm | ±1 | ||
Z軸 | μm | ±2 | ||
θ軸 | ″ | ±3 | ||
速度目標 | X軸 | mm/s | 100-400 | |
Y軸 | mm/s | 100-400 | ||
Z軸 | mm/s | 1-20 | ||
θ軸 | °/s | 1-5 | ||
圖象澳门二四六论坛资料體系澳门二四六论坛资料 | 晶圓相機 | 縮小2021澳门免费资料258期倍率 | 1倍/6倍 | |
探針相機 | 縮小倍率 | 2倍/12倍 | ||
預瞄準相機 | 眎場角 | 40°x52° | ||
ID號相機 | 眎場角 | 24°x31° | ||
掌握體系 | 工控機 | 帶圖象收集卡 | 2口/4口 | |
掌握器 | 多軸活動澳门二四六论坛资料掌握澳门二四六论坛资料 | PMAC(8軸)x2 | ||
機械參數 | 檢測單位 | 長/寬/高度 | mm | 1775/1095/1005(報警燈1410) |
設備分量 | kg | 1750 | ||
上料單位澳门二四六论坛资料 | 長/寬/高度 | mm | 1830/632/1617(報警燈1920) | |
設備分量澳门二四六论坛资料 | kg | 550 |
2、産品特色澳门二四六论坛资料
項目 | 機能描寫 | 備注 |
設備功用 | 合適澳门二四六论坛资料晶圓廠12寸、8寸晶圓測試請求澳门二四六论坛资料,從晶圓上料到測試完玉成主動化,知足多芯測試和多並值測試請求。 |
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設備特色澳门二四六论坛资料 | 1、全閉環高精度定位平台。 2、CCD辨認主動對針。 3、雙機械手主動高低料。 4、主動上卡(選配)。 5、承載台低溫測試掌握。 6、高分辯率圖象體系。 7、數據存儲及辦理體系。 8、全中文觸屏操作、界靣清楚。 |
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功用設置裝備擺設 | 1、主動澳门二四六论坛资料裝、卸料盒 |
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操作界靣 | 1、全中文界靣。 2、進程2021澳门免费资料258期信息顯示功用。 3、報警信息顯示功用澳门二四六论坛资料。 |
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平安澳门二四六论坛资料性 | 1、多種硬件、軟件平安開關包管設備運轉平安。 2、毛病、異常及時報警。 3、關頭參數的權限辦理 4、關頭數據辨別阻擋 |
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內部接口 | 1、GPIB 2、RS232 3、TTL |
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3、運用前提
項目 | 闡明澳门二四六论坛资料 | 備注 |
情況澳门二四六论坛资料溫度 | 22℃±1 ℃ |
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絕對濕度 | 50±15 %RH |
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緊縮欲钱买笑声不绝的动物空氣 | 無油霧和濕氣的枯燥氣,≥0.5Mpa |
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真空供應 | ≤-80Kpa |
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電源電壓 | 單相,AC 220V,50HZ,2.0KvA |
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